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激光调阻机多档测量误差的软件自适应校正 期刊论文  OAI收割
光学精密工程, 2004, 期号: 03, 页码: 259-264
王志娟; 郭晓光; 孙继凤; 汤建华; 于前洋
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6K6系列多轴运动控制器在微电子领域中的应用 期刊论文  OAI收割
光学精密工程, 2002, 期号: 02, 页码: 176-181
作者:  
刘伟
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