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自定义照明模式分辨力增强技术研究 学位论文  OAI收割
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2015
作者:  
收藏  |  浏览/下载:55/0  |  提交时间:2015/07/30
基于微反射镜阵列的光刻照明模式变换系统设计 期刊论文  OAI收割
光学学报, 2015, 卷号: 35, 期号: 11, 页码: 102-111
作者:  
邢莎莎;  冉英华;  江海波;  邢廷文
收藏  |  浏览/下载:47/0  |  提交时间:2016/11/01
国际科学技术前沿报告2012 专著  OAI收割
北京:科学出版社, 2012年9月第1版, 2012
作者:  
张晓林;  张志强 主编
收藏  |  浏览/下载:53/0  |  提交时间:2015/11/16
高均匀复杂光刻照明系统技术研究 学位论文  OAI收割
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2011
林妩媚
收藏  |  浏览/下载:253/0  |  提交时间:2014/12/11