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光电技术研究所 [3]
文献情报中心 [1]
采集方式
OAI收割 [4]
内容类型
学位论文 [2]
专著 [1]
期刊论文 [1]
发表日期
2015 [2]
2012 [1]
2011 [1]
学科主题
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共4条,第1-4条
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自定义照明模式分辨力增强技术研究
学位论文
OAI收割
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2015
作者:
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浏览/下载:55/0
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提交时间:2015/07/30
光学光刻
计算光刻
光刻仿真
分辨力增强技术
照明模式
光源掩模优化(SMO)
基于微反射镜阵列的光刻照明模式变换系统设计
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2015, 卷号: 35, 期号: 11, 页码: 102-111
作者:
邢莎莎
;
冉英华
;
江海波
;
邢廷文
收藏
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浏览/下载:47/0
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提交时间:2016/11/01
成像系统
照明模式变换
自由照明光瞳
微反射镜阵列
光束整形
非球面复眼
国际科学技术前沿报告2012
专著
OAI收割
北京:科学出版社, 2012年9月第1版, 2012
作者:
张晓林
;
张志强 主编
收藏
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浏览/下载:53/0
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提交时间:2015/11/16
纳米自旋电子学及器件
固态照明
土壤微生物区系
脑科学
油气资源探测技术
国际河流水资源开发利用
激光雷达技术
模式微生物
未来互联网
规模化电力储能技术
高性能碳纤维
高均匀复杂光刻照明系统技术研究
学位论文
OAI收割
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2011
林妩媚
收藏
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提交时间:2014/12/11
均匀照明
照明系统
照明模式变换
相干因子调整
光瞳补偿