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• 光电技术研究所 [2]

采集方式

• OAI收割 [2]

内容类型

• 学位论文 [1]
• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2015 [1]
• 2011 [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 基于微反射镜阵列的光刻照明模式变换系统设计 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2015, 卷号: 35, 期号: 11, 页码: 102-111 作者:  邢莎莎;  冉英华;  江海波;  邢廷文 收藏  |  浏览/下载：48/0  |  提交时间：2016/11/01 成像系统  照明模式变换  自由照明光瞳  微反射镜阵列  光束整形  非球面复眼   高均匀复杂光刻照明系统技术研究 学位论文  OAI收割 博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2011 林妩媚 收藏  |  浏览/下载：256/0  |  提交时间：2014/12/11 均匀照明  照明系统  照明模式变换  相干因子调整  光瞳补偿