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基于物元理论的昔格达地层边坡稳定性评价模型研究 学位论文  OAI收割
北京: 中国科学院大学, 2020
作者:  杨世豪
  |  收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2021/01/18
可拓学:一门本土原创学科的创建与兴起 期刊论文  OAI收割
广西民族大学学报(自然科学版), 2016, 卷号: 22, 期号: 03, 页码: 38-41
作者:  薛中营
  |  收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2022/07/18
高功率激光装置的洁净控制技术 学位论文  OAI收割
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015
作者:  李养帅
收藏  |  浏览/下载：44/0  |  提交时间：2016/11/28
高功率激光装置的洁净控制技术 学位论文  OAI收割
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015
作者:  李养帅
收藏  |  浏览/下载：39/0  |  提交时间：2016/11/28
基于可拓层次分析法的泥石流危险性评价研究 期刊论文  OAI收割
中国地质灾害与防治学报, 2010, 卷号: 21.0, 期号: 003, 页码: 61
作者:  刘厚成;  谷秀芝
  |  收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2021/05/25
短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究 学位论文  OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
作者:  宁锦华
  |  收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2012/08/22
由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作  探测率高等优点  Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究  重点研究了感应耦合等离子体刻蚀（icp）台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器  通过最终性能的比较  评价得出较好的台面成型方式  为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下：icp刻蚀中掩膜的材料致密性  侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉  铟基材料的刻蚀需要对样品加热  在此温度下  光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说  采用pecvd生长sinx  选择边缘平整的光刻板  用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf：nh4f：h2o为3：6：10的溶液常温腐蚀6秒  可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物  但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器  平均刻蚀速率过快  同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离  提高刻蚀速率  相比较ar气  N2的物理轰击力小  对材料造成的损伤小  同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx  在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型  能得到刻蚀速率稳定可控  刻蚀后的表面光洁无残留物  图形保真度好。在不同的直流偏压  Icp功率  气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型  并从刻蚀速率  刻蚀垂直度  刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上  找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下  Icp具有图形保真度好  刻蚀速率稳定可控的优点  因而更适用于ingaas探测器的工程制作  特别在小光敏元探测器的制备中  Icp的优势将更明显。  
地下隧洞岩体质量的可拓学理论评价 期刊论文  OAI收割
地下空间与工程学报, 2008, 期号: 02, 页码: 259-264
作者:  康志强;  周辉;  冯夏庭;  杨成祥
  |  收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2018/06/25
大型岩质边坡岩体质量的可拓学理论评价 期刊论文  OAI收割
东北大学学报(自然科学版), 2007, 期号: 12, 页码: 1770-1774
作者:  康志强;  周辉;  冯夏庭;  杨成祥
  |  收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2018/06/25
基于层次分析法的可拓学理论在地下洞室岩体质量评价中的应用 期刊论文  OAI收割
岩石力学与工程学报, 2006, 期号: S2, 页码: 3687-3693
作者:  康志强;  冯夏庭;  周辉
  |  收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2018/06/25
异构二元羧酸和氮杂环混合配体锰配合物的设计合成及表征 学位论文  OAI收割
博士, 中国科学院福建物质结构研究所: 中国科学院福建物质结构研究所, 2004
马成丙
收藏  |  浏览/下载：115/0  |  提交时间：2013/05/07