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• 长春光学精密机械与物... [2]

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• 期刊论文 [2]

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• 2017 [1]
• 2016 [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 光学元件狭缝柔性调节机构的设计与分析 期刊论文  OAI收割 中国光学, 2017, 页码: 790-797 作者:  董世则;  郭抗;  李显凌;  陈华男;  张德福   |  收藏  |  浏览/下载：29/0  |  提交时间：2018/04/09 光刻物镜  调节机构  狭缝柔性结构  刚度比  导向精度   狭缝柔性结构的光学元件超精密调节机构研究 期刊论文  OAI收割 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 2016, 期号: 6 作者:  董世则   |  收藏  |  浏览/下载：32/0  |  提交时间：2017/09/17 狭缝柔性结构  光刻物镜  调节机构  导向精度  精度测试