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电子学研究所 [2]
上海微系统与信息技术... [1]
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反馈补偿对高Q值加速度计动态性能的影响
期刊论文
OAI收割
半导体技术, 2011, 期号: 01
戚玉婕
;
车录锋
;
孙腾
;
王跃林
收藏
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浏览/下载:32/0
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提交时间:2012/04/13
电容式加速度计
反馈补偿参数
Q值
微机械系统
MATLAB
电容式微加速度计检测电路研究
学位论文
OAI收割
硕士, 电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 2006
杨苗苗
收藏
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浏览/下载:29/0
|
提交时间:2011/07/19
微电子机械系统
电容式加速度计
扭摆
梳齿
开关式检测电路
电容式微加速度计检测电路研究
学位论文
OAI收割
硕士, 电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 2006
杨苗苗
收藏
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浏览/下载:46/0
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提交时间:2011/07/19
微电子机械系统
电容式加速度计
扭摆
梳齿
开关式检测电路
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