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• 电子学研究所 [2]

采集方式

• OAI收割 [2]

内容类型

• 学位论文 [2]

发表日期

• 2002 [2]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 微机械谐振梁压力传感器研究 学位论文  OAI收割 博士, 中国科学院电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 2002 陈德勇 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2011/07/19 谐振式压力传感器  微电子机械  低应力氮化硅谐振梁  电热激励  半岛结构   微机械谐振梁压力传感器研究 学位论文  OAI收割 博士, 中国科学院电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 2002 陈德勇 收藏  |  浏览/下载：64/0  |  提交时间：2011/07/19 谐振式压力传感器  微电子机械  低应力氮化硅谐振梁  电热激励  半岛结构