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力学研究所 [1]
长春光学精密机械与物... [1]
光电技术研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [3]
内容类型
期刊论文 [3]
发表日期
2014 [1]
2012 [1]
2008 [1]
学科主题
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浏览/检索结果:
共3条,第1-3条
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采用双自由曲面整形的无掩模光刻照明系统
期刊论文
OAI收割
红外与激光工程, 2014, 期号: 5, 页码: 1505-1510
作者:
康玉思
;
魏忠伦
;
刘伟奇
;
张大亮
;
冯睿
收藏
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浏览/下载:89/0
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提交时间:2015/04/17
无掩模光刻
照明系统
激光光束整形
矩形平顶光束
自由曲面
三路矩形光束相干合成波像差与光束质量
期刊论文
OAI收割
强激光与粒子束, 2012, 卷号: 24, 期号: 7, 页码: 1677-1682
作者:
谭毅
;
李新阳
收藏
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2016/11/15
相干合成
波像差
光束质量
β因子
矩形光束
用于激光加工中的矩形孔径Dammann光栅光束变换技术
期刊论文
OAI收割
中国激光, 2008, 卷号: 35, 期号: 11, 页码: 1841-1847
作者:
虞钢
;
聂树真
;
郑彩云
;
何秀丽
收藏
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浏览/下载:1409/17
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提交时间:2010/05/03
二元光学
矩形孔径Dammann光栅
激光加工
光束变换