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金属研究所 [17]
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OAI收割 [20]
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期刊论文 [13]
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学科主题
红外探测材料与器件 [1]
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带损伤环氧涂层钢筋在Cl^-和碳化耦合作用下的腐蚀行为
期刊论文
OAI收割
金属学报, 2020, 卷号: 56.0, 期号: 006, 页码: 885-897
作者:
魏洁
;
魏英华
;
李京
;
赵洪涛
;
吕晨曦
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浏览/下载:27/0
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提交时间:2021/02/02
环氧涂层钢筋
腐蚀演化
Cl^-
碳化
带损伤环氧涂层钢筋在Cl^-和碳化耦合作用下的腐蚀行为
期刊论文
OAI收割
金属学报, 2020, 卷号: 56.0, 期号: 006, 页码: 885-897
作者:
魏洁
;
魏英华
;
李京
;
赵洪涛
;
吕晨曦
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浏览/下载:23/0
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提交时间:2021/02/02
环氧涂层钢筋
腐蚀演化
Cl^-
碳化
LiF-NaF-KF熔盐中碳化硅与镍基合金之间腐蚀诱导的相互作用研究
学位论文
OAI收割
中国科学院大学(中国科学院上海应用物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院上海应用物理研究所), 2019
作者:
薛万冬
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提交时间:2019/12/24
FLiNaK熔盐
高温腐蚀
镍基合金
碳化硅
熔盐堆
Ni-Fe-Cr合金固溶处理后的组织变化及其对性能的影响
期刊论文
OAI收割
金属学报, 2018, 卷号: 54.0, 期号: 003, 页码: 385-392
作者:
陈胜虎
;
戎利建
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浏览/下载:21/0
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提交时间:2021/02/02
Ni-Fe-Cr合金
固溶处理
碳化物
拉伸性能
晶间腐蚀
Ni-Fe-Cr合金固溶处理后的组织变化及其对性能的影响
期刊论文
OAI收割
金属学报, 2018, 卷号: 54.0, 期号: 003, 页码: 385-392
作者:
陈胜虎
;
戎利建
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提交时间:2021/02/02
Ni-Fe-Cr合金
固溶处理
碳化物
拉伸性能
晶间腐蚀
短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究
学位论文
OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
作者:
宁锦华
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提交时间:2012/08/22
由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作
探测率高等优点
Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究
重点研究了感应耦合等离子体刻蚀(icp)台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器
通过最终性能的比较
评价得出较好的台面成型方式
为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下:icp刻蚀中掩膜的材料致密性
侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉
铟基材料的刻蚀需要对样品加热
在此温度下
光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说
采用pecvd生长sinx
选择边缘平整的光刻板
用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf:nh4f:h2o为3:6:10的溶液常温腐蚀6秒
可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物
但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器
平均刻蚀速率过快
同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离
提高刻蚀速率
相比较ar气
N2的物理轰击力小
对材料造成的损伤小
同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx
在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型
能得到刻蚀速率稳定可控
刻蚀后的表面光洁无残留物
图形保真度好。在不同的直流偏压
Icp功率
气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型
并从刻蚀速率
刻蚀垂直度
刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上
找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下
Icp具有图形保真度好
刻蚀速率稳定可控的优点
因而更适用于ingaas探测器的工程制作
特别在小光敏元探测器的制备中
Icp的优势将更明显。
镍基高温合金K445的高温氧化、热腐蚀和热疲劳行为
学位论文
OAI收割
硕士, 金属研究所: 中国科学院金属研究所, 2006
李友林
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提交时间:2012/04/10
镍基高温合金
氧化动力学
热腐蚀
氧化膜
热疲劳
碳化物
几种高温合金及其防护涂层的高温腐蚀行为
学位论文
OAI收割
博士, 金属研究所: 中国科学院金属研究所, 2006
黄粮
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浏览/下载:378/0
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提交时间:2012/04/10
高温合金
NiCrAlY
高温氧化
热腐蚀
碳化物
铼
电弧离子镀
对钛碳化硅材料铝-稀土共渗
成果
OAI收割
2003
中国科学院金属研究所
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提交时间:2013/07/24
钛碳化硅材料
铝-稀土共渗
金属表面保护
耐高温腐蚀
CVD法SiC纤维
成果
OAI收割
2003
中国科学院金属研究所
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提交时间:2013/07/24
耐腐蚀
抗氧化
碳真空脱氧
碳化硅纤维
射频加热
生产工艺