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金属研究所 [2]
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OAI收割 [2]
内容类型
会议论文 [1]
期刊论文 [1]
发表日期
2014 [2]
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脉冲偏压对离子束辅助电弧离子镀TiN/Cu纳米复合膜结构及硬度的影响
期刊论文
OAI收割
真空科学与技术学报, 2014, 期号: 10, 页码: 1040-1046
李凤岐
;
冯丹
;
赵彦辉
;
于宝海
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提交时间:2015/01/15
TiN/Cu纳米复合膜
离子束辅助沉积
电弧离子镀
脉冲偏压
硬度
离子束对电弧离子镀TiN/Cu纳米复合薄膜组织结构及硬度的影响
会议论文
OAI收割
第十届全国表面工程大会暨第六届全国青年表面工程论坛, 中国湖北武汉, 2014
赵彦辉
;
冯丹
;
李凤岐
;
于宝海
收藏
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提交时间:2015/05/08
离子束辅助电弧离子镀
TiN/Cu
纳米复合膜
组织结构
硬度