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红外探测材料与器件 [1]
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共22条,第1-10条
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超燃冲压发动机加速过程及等离子体对超声速火焰结构的影响
学位论文
OAI收割
北京: 中国科学院大学, 2019
作者:
孟宇
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浏览/下载:297/0
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提交时间:2019/11/07
超燃冲压发动机,燃烧模态,火焰结构,加速过程,微波,滑移电弧,等离子体
TC4钛合金CO_2激光焊接试验研究
期刊论文
OAI收割
沈阳理工大学学报, 2011, 卷号: 30, 期号: 1, 页码: 70-74
魏英姿
;
冯艺君
;
王红
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2012/05/29
钛合金板
激光焊接
气体保护
试验研究
焊接接头
等离子体
焊接过程
保护装置
焊缝
焊前清理
EAST装置放电预测的初步研究
期刊论文
OAI收割
核聚变与等离子体物理, 2010, 卷号: 000
作者:
刘成岳
;
陈美霞
;
吴斌
;
宋逢泉
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提交时间:2020/11/25
EAST装置
放电模拟
预测研究
初步研究
tokamak
等离子体电流
物理实验
位置控制
演化过程
线圈电流
托卡马克
模拟结果
模拟程序
控制系统
可预测性
参数
波形
实验前
极向场
场控制
EAST装置放电预测的初步研究
期刊论文
OAI收割
核聚变与等离子体物理, 2010, 卷号: 000
作者:
刘成岳
;
陈美霞
;
吴斌
;
宋逢泉
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提交时间:2020/11/25
EAST装置
放电模拟
预测研究
初步研究
tokamak
等离子体电流
物理实验
位置控制
演化过程
线圈电流
托卡马克
模拟结果
模拟程序
控制系统
可预测性
参数
波形
实验前
极向场
场控制
低功率氩电弧加热发动机内传热与流动的数值模拟
会议论文
OAI收割
第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会, 中国辽宁大连, 2009-07-20
作者:
王海兴
;
潘文霞
;
陈熙
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2010/11/25
电弧加热发动机
8604,传热与流动
4189,等离子体流
1629,低功率
1059,阴极弧
1000,数值模拟方法
970,内部过程
943,中心轴线
906,喷管
721,扩张段
675
短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究
学位论文
OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
作者:
宁锦华
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提交时间:2012/08/22
由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作
探测率高等优点
Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究
重点研究了感应耦合等离子体刻蚀(icp)台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器
通过最终性能的比较
评价得出较好的台面成型方式
为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下:icp刻蚀中掩膜的材料致密性
侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉
铟基材料的刻蚀需要对样品加热
在此温度下
光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说
采用pecvd生长sinx
选择边缘平整的光刻板
用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf:nh4f:h2o为3:6:10的溶液常温腐蚀6秒
可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物
但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器
平均刻蚀速率过快
同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离
提高刻蚀速率
相比较ar气
N2的物理轰击力小
对材料造成的损伤小
同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx
在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型
能得到刻蚀速率稳定可控
刻蚀后的表面光洁无残留物
图形保真度好。在不同的直流偏压
Icp功率
气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型
并从刻蚀速率
刻蚀垂直度
刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上
找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下
Icp具有图形保真度好
刻蚀速率稳定可控的优点
因而更适用于ingaas探测器的工程制作
特别在小光敏元探测器的制备中
Icp的优势将更明显。
太阳Ⅲ型暴与反向Langmuir波的产生
期刊论文
OAI收割
天文学报, 2007, 卷号: 48, 期号: 4, 页码: 441-448
黄宇
;
黄光力
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提交时间:2012/02/03
太阳
射电辐射
物理数据与过程
等离子体
辐射机制
方法
数值
表面等离子体共振技术在电化学反应过程研究中的应用
期刊论文
OAI收割
分析化学, 2007, 卷号: 35, 期号: 5, 页码: 754-759
李风华
;
单长胜
;
杨贵福
;
牛利
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提交时间:2010/07/13
表面等离子体共振
化学传感器
电化学
动力学过程
评述
太阳大气等离子体磁环中的电流研究
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院研究生院, 2006
谭宝林
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提交时间:2013/07/03
太阳载流等离子体磁环
爆发过程
能量耗散
磁场重联
CME影响下L1点附近等离子体及共生微波爆发的射电辐射机制研究
期刊论文
OAI收割
空间科学学报, 2005, 卷号: 25, 期号: 3, 页码: 167-172
孙伟英
;
吴季
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浏览/下载:36/0
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提交时间:2014/05/04
射电辐射
CME
机制研究
共生
1999年8月
辐射机制
空间等离子体
等离子体参数
太阳微波爆发
电子回旋脉泽
等离子体辐射
分析结果
轫致辐射
拉格朗日点
相互作用
星际介质
发展过程
发生情况
统计分析
发生变化
复合辐射