机构

• 光电技术研究所 [2]
• 长春光学精密机械与物... [1]

采集方式

• OAI收割 [3]

内容类型

• 学位论文 [2]
• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2007 [1]
• 2006 [1]
• 1994 [1]

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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 掩模移动曝光系统精密定位工件台技术研究 学位论文  OAI收割 硕士, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2007 佟军民 收藏  |  浏览/下载：72/0  |  提交时间：2013/11/19 掩模移动曝光技术  精密定位工件台  移动直线性  移动正交性   电子束曝光机激光定位精密工件台测量系统研究 学位论文  OAI收割 硕士, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2006 乔俊仙 收藏  |  浏览/下载：117/0  |  提交时间：2013/11/19 激光干涉仪  精密工件台  电子束曝光机  误差分析  误差补偿   双维精密定位工件台数控系统的研究 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 1994, 期号: 04, 页码: 93-100 李树秋 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2013/03/11 数控系统  细分  工件台  精密定位