机构

• 长春光学精密机械与物... [1]
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采集方式

• OAI收割 [2]

内容类型

• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2013 [1]
• 2005 [1]

学科主题

• 传感器 [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 超高真空精密四刀狭缝的结构原理及有限元分析 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 2013, 期号: 07, 页码: 1741-1747 作者:  卢启鹏;  彭忠琦;  龚学鹏 收藏  |  浏览/下载：43/0  |  提交时间：2014/03/07 X射线干涉光刻光束线  精密狭缝  四刀结构  重复精度  有限元分析   狭缝投影位置传感技术及其在精密定位中的应用 期刊论文  OAI收割 中国激光, 2005, 卷号: 32, 期号: 9, 页码: 1178, 1182 曾爱军; 王向朝; 徐德衍; 李代林; 黄立华; 董作人; 赵永凯; 江晓军; 步扬 收藏  |  浏览/下载：1194/215  |  提交时间：2009/09/18 测量  位置传感器  精密定位  投影狭缝  探测双缝  measurement  position sensor  precision positioning  projection slit  detection double slit