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基于低维结构的跨光谱高效锑化物红外探测器研究 学位论文 OAI收割
西安: 西安交通大学（光机所联合培养）, 2019
作者: 郭春妍

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收藏 | 浏览/下载：33/0 | 提交时间：2019/06/20

锑化物半导体分子束外延可见红外融合型探测器中长双色红外探测器新型锑化物遥感探测器

宽动态范围红外积分球辐射源的设计与检测 期刊论文 OAI收割
光学学报, 2019, 卷号: 39
作者: 张梦雅; 袁银麟; 翟文超; 孟凡刚; 夏茂鹏

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收藏 | 浏览/下载：24/0 | 提交时间：2020/11/25

遥感辐射定标红外积分球辐射源遥感器

红外超光谱干涉光谱仪探测器高阶非线性响应研究 期刊论文 OAI收割
光学学报, 2018, 卷号: 038
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收藏 | 浏览/下载：11/0 | 提交时间：2020/10/26

探测器遥感非线性响应交叉迭代红外超光谱校正

星载多路短波红外探测器温控系统设计 期刊论文 OAI收割
大气与环境光学学报, 2018, 卷号: 013
作者: 范慧敏; 张爱文; 胡亚东; 翁建文; 洪津

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收藏 | 浏览/下载：25/0 | 提交时间：2020/11/23

偏振遥感星载短波红外探测器高稳定性制冷

暗电流对短波红外偏振测量精度的影响 期刊论文 OAI收割
红外与激光工程, 2015, 卷号: 044
作者: 胡亚东; 胡巧云; 孙斌; 王羿; 洪津

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收藏 | 浏览/下载：30/0 | 提交时间：2020/11/23

遥感红外探测器暗电流偏振精度误差分析

短波红外InGaAs探测器关键工艺技术研究 学位论文 OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2010
作者: 李永富

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收藏 | 浏览/下载：36/0 | 提交时间：2012/09/11

空间遥感短波红外探测器保护环串音

高In组分InGaAs短波红外线列探测器技术研究 学位论文 OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
作者: 张可锋

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收藏 | 浏览/下载：28/0 | 提交时间：2012/08/22

Ingaas 短波红外探测器空间遥感焦平面测试结构

短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究 学位论文 OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
作者: 宁锦华

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收藏 | 浏览/下载：30/0 | 提交时间：2012/08/22

由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作探测率高等优点 Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究重点研究了感应耦合等离子体刻蚀（icp）台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器通过最终性能的比较评价得出较好的台面成型方式为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下：icp刻蚀中掩膜的材料致密性侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉铟基材料的刻蚀需要对样品加热在此温度下光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说采用pecvd生长sinx 选择边缘平整的光刻板用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf：nh4f：h2o为3：6：10的溶液常温腐蚀6秒可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器平均刻蚀速率过快同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离提高刻蚀速率相比较ar气 N2的物理轰击力小对材料造成的损伤小同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx 在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型能得到刻蚀速率稳定可控刻蚀后的表面光洁无残留物图形保真度好。在不同的直流偏压 Icp功率气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型并从刻蚀速率刻蚀垂直度刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下 Icp具有图形保真度好刻蚀速率稳定可控的优点因而更适用于ingaas探测器的工程制作特别在小光敏元探测器的制备中 Icp的优势将更明显。

基于低温辐射计的陷阱探测器红外绝对光功率响应度的定标 期刊论文 OAI收割
量子电子学报, 2009, 卷号: 026
作者: 卢云君; 郑小兵; 李健军; 张伟; 谢萍

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遥感红外定标陷阱探测器绝对光功率响应度温度稳定性

台面型InGaAs短波红外线列探测器技术研究 学位论文 OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2008
作者: 唐恒敬

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收藏 | 浏览/下载：18/0 | 提交时间：2012/08/22

Ingaas 空间遥感短波红外探测器焦平面钝化欧姆接触