机构

• 合肥物质科学研究院 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2017 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 用于低温多晶硅制备的线光束整形系统 期刊论文  OAI收割 中国激光, 2017, 卷号: 44 作者:  尹广玥;  游利兵;  王庆胜;  褚状状;  陈亮   |  收藏  |  浏览/下载：55/0  |  提交时间：2020/11/23 激光技术  线光束整形  光束均匀性  准分子激光退火  低温多晶硅制备