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	面向电容式传感器线性度标定的柔性微动机构设计期刊论文 OAI收割仪器仪表学报, 2016, 期号: 6, 页码: 1210-1217 作者: 张德福; 李显凌; 葛川; 倪明阳; 郭抗收藏 \| 浏览/下载：18/0 \| 提交时间：2017/09/17 柔性机构伪刚体模型传感器线性度标定
	电容传感器线性度标定平台期刊论文 OAI收割光学精密工程, 2016, 期号: 1, 页码: 143-151 作者: 张德福; 葛川; 李显凌; 倪明阳; 郭抗收藏 \| 浏览/下载：28/0 \| 提交时间：2017/09/17 电容传感器线性度标定标定平台柔度矩阵
	电容式位移传感器的线性度标定与不确定度评定期刊论文 OAI收割光学精密工程, 2015, 期号: 09, 页码: 2546-2552 作者: 葛川; 张德福; 李朋志; 郭抗; 李佩玥收藏 \| 浏览/下载：21/0 \| 提交时间：2016/07/06 电容传感器位移传感器标定线性度不确定度光刻投影物镜
	高精度位移传感器线性度标定方法研究期刊论文 OAI收割仪器仪表学报, 2015, 期号: 05, 页码: 982-988 作者: 张德福; 葛川; 李显凌; 倪明阳; 郭抗收藏 \| 浏览/下载：23/0 \| 提交时间：2016/07/06 传感器标定线性度柔度矩阵