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机构
金属研究所 [2]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
会议论文 [1]
学位论文 [1]
发表日期
2009 [1]
2003 [1]
学科主题
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共2条,第1-2条
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PECVD硅烷分解法制备硅层基本规律的研究
学位论文
OAI收割
博士, 金属研究所: 中国科学院金属研究所, 2009
程华
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提交时间:2012/04/10
微晶硅薄膜
PECVD
Ar放电
沉积速率
组织结构
结晶状态
薄膜稳定性
电学特性
光学特性
结晶状态对铜内耗频率谱的影响
会议论文
OAI收割
第七届全国内耗与超声衰减学术会议暨第六届中国物理学会内耗与超声衰减专业委员会全体大会, 合肥, 2003-10-11
张进修
;
龚康
;
王晓伟
;
朱震刚
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提交时间:2013/08/21
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