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低温离子渗氮对16Cr3NiWMoVNb齿轮钢摩擦学性能的影响
期刊论文
OAI收割
材料研究与应用, 2023, 卷号: 17, 期号: 01, 页码: 118⁃124
作者:
赵宝奇
;
高凯雄
;
张斌
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2023/12/07
16Cr3NiWMoVNb 齿轮钢
磨损率
腐蚀性能
等离子渗氮
表面硬度
摩擦因数
多羟基超分散剂对水性环氧涂层防腐性能的影响
期刊论文
OAI收割
中国腐蚀与防护学报, 2023, 卷号: 43, 期号: 2, 页码: 289-300
作者:
袁世成
;
吴艳峰
;
徐长慧
;
王兴奇
;
冷哲
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2024/01/08
dispersant
waterborne epoxy
water absorption
corrosion
electrochemical impedance spectroscopy
分散剂
水性环氧
吸水率
腐蚀
电化学阻抗谱
304不锈钢在氯化钠溶液中的磨损腐蚀研究
会议论文
OAI收割
2015年中国工程热物理学会多相流学术年会, 南京, 2015
作者:
曾子华
;
周芳
;
姚军
;
尹昊
;
赵彦琳
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浏览/下载:126/0
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提交时间:2016/01/13
氯离子浓度
温度
304不锈钢
冲蚀腐蚀率
压缩变形纳米多孔金电化学驱动性能研究
期刊论文
OAI收割
金属学报, 2014, 期号: 2, 页码: 252-258
叶兴龙
;
刘枫
;
金海军
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浏览/下载:67/0
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提交时间:2014/07/03
纳米多孔金
脱合金腐蚀
电化学驱动
压缩
孔隙率
CO_2探测仪星上定标铝漫反射板的制备与试验
期刊论文
OAI收割
中国光学, 2013, 期号: 04, 页码: 591-599
作者:
郑玉权
;
蔺超
;
王龙
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浏览/下载:28/0
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提交时间:2014/03/07
CO2探测仪
化学腐蚀
铝漫反射板
半球反射率
相对双向反射分布函数
7475铝合金薄壁管时效工艺及应力腐蚀性能研究
期刊论文
OAI收割
轻合金加工技术, 2013, 期号: 3, 页码: 54-56
李海宏
;
刘振伟
;
董超芳
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浏览/下载:24/0
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提交时间:2013/12/25
7475铝合金
电导率
时效
显微组织
应力腐蚀
超声辅助电沉积叠层镍膜及其耐腐蚀性能研究
期刊论文
OAI收割
腐蚀科学与防护技术, 2013, 期号: 2, 页码: 110-114
牛云松
;
于志明
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2013/12/25
超声电沉积
叠层膜
镍
耐腐蚀性能
孔隙率
轴向填充率渐变型二维光子晶体
期刊论文
OAI收割
发光学报, 2012, 期号: 10, 页码: 1112-1119
作者:
梁静秋
;
梁中翥
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浏览/下载:7/0
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提交时间:2013/03/11
二维光子晶体
轴向填充率渐变
电化学腐蚀
钢筋在氯氧镁水泥中的腐蚀行为与防腐措施研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院, 2011
李成栋
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浏览/下载:30/0
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提交时间:2015/04/07
氯氧镁水泥
钢筋
涂层
达克罗
环氧树脂
改性沥青
电化学腐蚀
钢筋锈蚀率
交流阻抗
阳极极化曲线
短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究
学位论文
OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
作者:
宁锦华
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浏览/下载:30/0
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提交时间:2012/08/22
由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作
探测率高等优点
Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究
重点研究了感应耦合等离子体刻蚀(icp)台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器
通过最终性能的比较
评价得出较好的台面成型方式
为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下:icp刻蚀中掩膜的材料致密性
侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉
铟基材料的刻蚀需要对样品加热
在此温度下
光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说
采用pecvd生长sinx
选择边缘平整的光刻板
用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf:nh4f:h2o为3:6:10的溶液常温腐蚀6秒
可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物
但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器
平均刻蚀速率过快
同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离
提高刻蚀速率
相比较ar气
N2的物理轰击力小
对材料造成的损伤小
同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx
在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型
能得到刻蚀速率稳定可控
刻蚀后的表面光洁无残留物
图形保真度好。在不同的直流偏压
Icp功率
气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型
并从刻蚀速率
刻蚀垂直度
刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上
找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下
Icp具有图形保真度好
刻蚀速率稳定可控的优点
因而更适用于ingaas探测器的工程制作
特别在小光敏元探测器的制备中
Icp的优势将更明显。