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浏览/检索结果: 共32条,第1-10条 帮助

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低温离子渗氮对16Cr3NiWMoVNb齿轮钢摩擦学性能的影响 期刊论文  OAI收割
材料研究与应用, 2023, 卷号: 17, 期号: 01, 页码: 118⁃124
作者:  
赵宝奇;  高凯雄;  张斌
  |  收藏  |  浏览/下载:12/0  |  提交时间:2023/12/07
多羟基超分散剂对水性环氧涂层防腐性能的影响 期刊论文  OAI收割
中国腐蚀与防护学报, 2023, 卷号: 43, 期号: 2, 页码: 289-300
作者:  
袁世成;  吴艳峰;  徐长慧;  王兴奇;  冷哲
  |  收藏  |  浏览/下载:20/0  |  提交时间:2024/01/08
304不锈钢在氯化钠溶液中的磨损腐蚀研究 会议论文  OAI收割
2015年中国工程热物理学会多相流学术年会, 南京, 2015
作者:  
曾子华;  周芳;  姚军;  尹昊;  赵彦琳
收藏  |  浏览/下载:126/0  |  提交时间:2016/01/13
压缩变形纳米多孔金电化学驱动性能研究 期刊论文  OAI收割
金属学报, 2014, 期号: 2, 页码: 252-258
叶兴龙; 刘枫; 金海军
收藏  |  浏览/下载:67/0  |  提交时间:2014/07/03
CO_2探测仪星上定标铝漫反射板的制备与试验 期刊论文  OAI收割
中国光学, 2013, 期号: 04, 页码: 591-599
作者:  
郑玉权;  蔺超;  王龙
收藏  |  浏览/下载:28/0  |  提交时间:2014/03/07
7475铝合金薄壁管时效工艺及应力腐蚀性能研究 期刊论文  OAI收割
轻合金加工技术, 2013, 期号: 3, 页码: 54-56
李海宏; 刘振伟; 董超芳
收藏  |  浏览/下载:24/0  |  提交时间:2013/12/25
超声辅助电沉积叠层镍膜及其耐腐蚀性能研究 期刊论文  OAI收割
腐蚀科学与防护技术, 2013, 期号: 2, 页码: 110-114
牛云松; 于志明
收藏  |  浏览/下载:22/0  |  提交时间:2013/12/25
轴向填充率渐变型二维光子晶体 期刊论文  OAI收割
发光学报, 2012, 期号: 10, 页码: 1112-1119
作者:  
梁静秋;  梁中翥
收藏  |  浏览/下载:7/0  |  提交时间:2013/03/11
钢筋在氯氧镁水泥中的腐蚀行为与防腐措施研究 学位论文  OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院, 2011
李成栋
收藏  |  浏览/下载:30/0  |  提交时间:2015/04/07
短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究 学位论文  OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
作者:  
宁锦华
  |  收藏  |  浏览/下载:30/0  |  提交时间:2012/08/22
由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作  探测率高等优点  Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究  重点研究了感应耦合等离子体刻蚀(icp)台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器  通过最终性能的比较  评价得出较好的台面成型方式  为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下:icp刻蚀中掩膜的材料致密性  侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉  铟基材料的刻蚀需要对样品加热  在此温度下  光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说  采用pecvd生长sinx  选择边缘平整的光刻板  用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf:nh4f:h2o为3:6:10的溶液常温腐蚀6秒  可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物  但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器  平均刻蚀速率过快  同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离  提高刻蚀速率  相比较ar气  N2的物理轰击力小  对材料造成的损伤小  同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx  在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型  能得到刻蚀速率稳定可控  刻蚀后的表面光洁无残留物  图形保真度好。在不同的直流偏压  Icp功率  气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型  并从刻蚀速率  刻蚀垂直度  刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上  找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下  Icp具有图形保真度好  刻蚀速率稳定可控的优点  因而更适用于ingaas探测器的工程制作  特别在小光敏元探测器的制备中  Icp的优势将更明显。