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海水抽水蓄能电站金属结构腐蚀规律及选材研究
学位论文
OAI收割
中国科学院海洋研究所: 中国科学院大学, 2021
作者:
杨丹
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提交时间:2021/06/03
金属材料
腐蚀产物层
钝化膜
腐蚀规律
选材
流动条件下CO2腐蚀动力学模型
会议论文
OAI收割
作者:
王
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提交时间:2017/06/19
流动条件
Co2腐蚀
动力学模型
演化规律
碳钢、耐候钢在3种典型大气环境中的2腐蚀规律研究
期刊论文
OAI收割
中国腐蚀与防护学报, 2016, 卷号: 36, 期号: 1, 页码: 39-46
作者:
汪川
;
曹公旺
;
潘辰
;
王振尧
;
刘淼然
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提交时间:2021/02/02
耐候钢
腐蚀规律
碳钢
镀锌钢腐蚀行为的研究进展
CNKI期刊论文
OAI收割
2012
作者:
刘栓
;
孙虎元
;
范汇吉
;
孙立娟
;
刘增文
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提交时间:2024/12/18
镀锌钢
腐蚀行为
环境
腐蚀机理
规律
特性
两种热处理工艺对2205双相不锈钢腐蚀行为的影响
期刊论文
OAI收割
腐蚀与防护, 2012, 期号: 7, 页码: 563-566+570
孟祥娟
;
孟繁印
;
宋文文
;
毛学强
;
赵密锋
;
常泽亮
;
臧晗宇
;
张福生
;
张涛
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提交时间:2013/02/23
2205不锈钢
腐蚀规律
热处理
镀锌钢腐蚀行为的研究进展
期刊论文
OAI收割
材料保护, 2012, 期号: 12, 页码: 42-45+1
作者:
孙虎元
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提交时间:2013/09/27
镀锌钢
腐蚀行为
环境
腐蚀机理
规律
特性
纳米SiO_2改性环氧涂层海洋腐蚀规律
CNKI期刊论文
OAI收割
2010
作者:
田惠文
;
李伟华
;
侯保荣
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提交时间:2024/12/18
纳米SiO2
环氧涂层
海洋腐蚀规律
极化曲线
腐蚀形貌
飞机日历寿命定量评价方法及其延寿应用
成果
OAI收割
2010
韩恩厚
;
张栋
;
柯伟
;
陈群志
;
王俭秋
;
王逾涯
;
陈荣
;
李劲
;
张波
;
王中光
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提交时间:2013/07/24
飞机日历寿命定量评价方法
损伤演化规律
加速实验环境谱编制方法
飞机腐蚀修理
短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究
学位论文
OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
作者:
宁锦华
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提交时间:2012/08/22
由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作
探测率高等优点
Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究
重点研究了感应耦合等离子体刻蚀(icp)台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器
通过最终性能的比较
评价得出较好的台面成型方式
为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下:icp刻蚀中掩膜的材料致密性
侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉
铟基材料的刻蚀需要对样品加热
在此温度下
光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说
采用pecvd生长sinx
选择边缘平整的光刻板
用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf:nh4f:h2o为3:6:10的溶液常温腐蚀6秒
可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物
但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器
平均刻蚀速率过快
同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离
提高刻蚀速率
相比较ar气
N2的物理轰击力小
对材料造成的损伤小
同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx
在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型
能得到刻蚀速率稳定可控
刻蚀后的表面光洁无残留物
图形保真度好。在不同的直流偏压
Icp功率
气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型
并从刻蚀速率
刻蚀垂直度
刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上
找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下
Icp具有图形保真度好
刻蚀速率稳定可控的优点
因而更适用于ingaas探测器的工程制作
特别在小光敏元探测器的制备中
Icp的优势将更明显。
低碳钢大气腐蚀室内模拟加速腐蚀试验与锈蚀规律
期刊论文
OAI收割
电化学, 2009, 期号: 2, 页码: 170-178
董俊华
;
柯伟
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提交时间:2012/04/12
低碳钢
大气腐蚀
模拟加速
锈蚀规律