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• 上海微系统与信息技术... [2]

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• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2011 [1]
• 2004 [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 基于表面微机械技术的压阻式加速度传感器 期刊论文  OAI收割 仪表技术与传感器, 2011, 期号: 11 魏长征; 周伟; 李昕欣 收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2012/04/13 压阻式加速度传感器  表面微机械技术  片上静电自检测功能   锂离子蓄电池高容量含硅负极材料研究进展 期刊论文  OAI收割 电源技术, 2004, 期号: 11 文钟晟; 王可; 解晶莹; 杨军 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2012/01/06 微机电系统  加速度传感器  自检功能  静电驱动  侧壁扩散  绝缘工艺