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采集方式

• OAI收割 [3]

内容类型

• 学位论文 [2]
• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2023 [1]
• 2017 [1]
• 2015 [1]

学科主题

• 物理学::光学 [1]

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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序 大口径主镜加工误差的后光学自由曲面补偿技术 学位论文  OAI收割 北京: 中国科学院大学, 2023 作者:  黄成   |  收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2023/07/18 大口径光学系统  低精度主镜  自由曲面补偿  位姿补偿  节点像差理论   光瞳离轴自由曲面光学系统像差特性分析 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2017, 页码: 102-111 作者:  史浩东;  张新;  李英超;  江伦;  王超   |  收藏  |  浏览/下载：78/0  |  提交时间：2018/04/09 几何光学  自由曲面  光瞳离轴  节点像差  泽尼克多项式   光刻投影物镜波像差原位干涉检测技术研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015 作者:  吴飞斌 收藏  |  浏览/下载：174/0  |  提交时间：2016/11/28 光刻投影物镜  1xnm节点  波像差原位检测  Ronchi剪切干涉仪  相位提取