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过程工程研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [1]
内容类型
会议论文 [1]
发表日期
2012 [1]
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共1条,第1-1条
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功能薄膜火焰法沉积中硼化合物助剂的影响
会议论文
OAI收割
第十七届全国高技术陶瓷学术年会, 中国江苏南京, 2012-09-19
作者:
陈运法
;
陈运法
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陈运法
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浏览/下载:35/0
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提交时间:2013/09/29
功能薄膜:9167
火焰法:3592
硼化合物:1689
形貌:295
助剂:218
薄膜材料:183
前驱物:98
超疏水:90
纳米力学:77
疏水化处理:73
薄膜沉积:20
膜层性能:14
自清洁:13
沉积膜:12
低温玻璃化:12
可控参数:12
性能与结构:9
常压:9
结构相关性:8
SEM:7