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长春光学精密机械与物... [1]
西安光学精密机械研究... [1]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2023 [1]
2013 [1]
学科主题
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共2条,第1-2条
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融石英表面高质量亚波长光栅结构的飞秒激光加工
期刊论文
OAI收割
光子学报, 2023, 卷号: 52, 期号: 7
作者:
刘洋
;
朱香平
;
靳川
;
张笑墨
;
赵卫
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提交时间:2023/10/09
飞秒激光加工
表面形貌
亚波长结构
融石英
周期性结构
支撑应力对光刻透镜透射波前畸变的影响
期刊论文
OAI收割
中国光学, 2013, 期号: 01, 页码: 57-63
作者:
王汝冬
;
王平
;
田伟
收藏
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浏览/下载:25/0
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提交时间:2014/03/07
光学设计
光刻投影物镜
波前畸变
应力双折射
融石英
元件支撑