机构

• 上海应用物理研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2006 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 用于软刻蚀复型及转印前后形貌比较的反向重定位AFM成像方法 期刊论文  OAI收割 电子显微学报, 2006, 期号: 6 唐雨钊; 周虹杉; 张峰; 吴志华; 张晓东; 孙洁林; 胡钧 收藏  |  浏览/下载：37/0  |  提交时间：2012/05/23 原子力显微镜  反向重定位  软刻蚀  表面标记坐标系  高精度样品台系统