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新型大尺寸电磁驱动MEMS光学扫描镜的研制 期刊论文  OAI收割
半导体学报, 2008, 期号: 03
穆参军; 张飞岭; 吴亚明
收藏  |  浏览/下载:31/0  |  提交时间:2012/01/06