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长春光学精密机械与物... [1]
上海光学精密机械研究... [1]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
学位论文 [1]
期刊论文 [1]
发表日期
2015 [1]
2014 [1]
学科主题
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浏览/检索结果:
共2条,第1-2条
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成像椭偏测量技术研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015
作者:
胡仕玉
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浏览/下载:58/0
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提交时间:2016/11/28
成像椭偏测量
椭偏参量
装调与标定
薄膜参数
缺陷检测
提高平行光管分划板装调精度新方法研究
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2014, 期号: 9, 页码: 157-163
作者:
吴国栋
收藏
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浏览/下载:25/0
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提交时间:2015/04/17
测量
光学检测
装调与标定
猫眼干涉法
平行光管
分划板