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长春光学精密机械与物... [2]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2016 [1]
2014 [1]
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扫描干涉场曝光光束自动对准及其收敛性分析
期刊论文
OAI收割
中国激光, 2016, 期号: 12, 页码: 176-183
作者:
王玮
;
巴音贺希格
;
宋莹
;
姜珊
;
潘明忠
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提交时间:2017/09/17
光栅
扫描干涉场曝光系统
光束对准
收敛性能
装调误差
二次成形式Coude光学系统的设计、检测与装调
期刊论文
OAI收割
光子学报, 2014, 期号: 6, 页码: 175-180
明名
;
吕天宇
;
吴小霞
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提交时间:2015/04/17
光学望远镜
光学检测
二次成像
光学准直
非球面
装调对准