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• 长春光学精密机械与物... [1]

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• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2017 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 扫描干涉场曝光系统中光束对准误差及其控制 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2017, 页码: 247-256 作者:  王玮;  巴音贺希格;  潘明忠;  宋莹;  李文昊   |  收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2018/04/09 光学设计  光栅  扫描干涉场曝光  光束对准  曝光对比度  位置解耦  角度解耦