机构

• 电子学研究所 [3]

采集方式

• OAI收割 [3]

内容类型

• 学位论文 [3]

发表日期

• 2015 [1]
• 2013 [1]
• 2012 [1]

学科主题

• 传感器 [3]

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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 提高谐振式MEMS气压传感器综合性能关键技术研究 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院大学, 2015 李忆南 收藏  |  浏览/下载：43/0  |  提交时间：2015/06/21 谐振式MEMS压力传感器  温度补偿  闭环电路  传感器仪表   谐振式MEMS压力传感器封装和仪表研究 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院大学, 2013 张健 收藏  |  浏览/下载：89/0  |  提交时间：2013/06/07 谐振式MEMS压力传感器  真空封装  低应力组装  闭环电路  传感器仪表   基于SOI-MEMS工艺的谐振式压力传感器的制作 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2012 罗振宇 收藏  |  浏览/下载：39/0  |  提交时间：2012/06/09 MEMS  谐振式压力传感器  电磁激励  SOI  牺牲层释放