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• 长春光学精密机械与物... [1]

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• 期刊论文 [1]

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• 2014 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 超声波震荡法及润湿性增强法对单晶硅阶梯光栅闪耀面粗糙度的影响 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2014, 期号: 3, 页码: 53-59 焦庆斌; 巴音贺希格; 谭鑫; 李艳茹; 朱继伟; 吴娜 收藏  |  浏览/下载：40/0  |  提交时间：2015/04/17 光栅  湿法刻蚀  表面粗糙度  超声波震荡  润湿性增强