机构

• 光电技术研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 学位论文 [1]

发表日期

• 2006 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 百纳米级微细图形投影光学光刻偏振成像原理及方法研究 学位论文  OAI收割 博士, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2006 余国彬 收藏  |  浏览/下载：53/0  |  提交时间：2013/11/19 投影光学光刻  超大数值孔径  偏振成像  偏振成像控制  分辨力