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	超高精度面形干涉检测技术进展期刊论文 OAI收割光电工程, 2020, 卷号: 47, 期号: 8, 页码: 18-30 作者: 侯溪; 张帅; 胡小川; 全海洋; 吴高峰 \| 收藏 \| 浏览/下载：70/0 \| 提交时间：2021/05/11 先进光学制造超精密光学光学测量面形检测干涉检测绝对检测
	揭秘“精密机械之王” 期刊论文 OAI收割中国基础科学, 2018, 期号: 02, 页码: 48-52+62 作者: 唐玉国; 巴音贺希格; 竺长安; 金一 \| 收藏 \| 浏览/下载：25/0 \| 提交时间：2019/09/17 大面积光栅刻划光栅光栅刻划机超精密制造
	用微移动机器人群进行超精密加工与测量的现状和发展期刊论文 OAI收割机器人, 2000, 卷号: 22, 期号: S, 页码: 902-904 作者: 原培章; 王忠; 李小凡 \| 收藏 \| 浏览/下载：23/0 \| 提交时间：2010/11/29 超精密加工微移动机器人先进制造技术