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上海应用物理研究所 [2]
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OAI收割 [2]
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大面积10000线/毫米软X射线金属型透射光栅的设计、制作与检测
期刊论文
OAI收割
物理学报, 2008, 期号: 10
朱伟忠
;
吴衍青
;
郭智
;
朱效立
;
马杰
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谢常青
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史沛熊
;
周洪军
;
霍同林
;
邰仁忠
;
徐洪杰
收藏
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2012/06/06
软X射线金属型透射光栅
严格耦合波方法
衍射效率
软X射线干涉光刻
软X射线干涉光刻相关技术研究
学位论文
OAI收割
博士, 上海应用物理研究所: 中国科学院上海应用物理研究所, 2005
朱伟忠
收藏
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浏览/下载:128/0
|
提交时间:2012/04/11
软X射线金属型透射光栅
严格耦合波方法
电子束光刻
衍射效率
软X射线干涉光刻
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