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浏览/检索结果: 共11条,第1-10条 帮助

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基于点扩散函数的拼接镜边缘传感器定标实验研究 期刊论文  OAI收割
光子学报/Acta Photonica Sinica, 2023
作者:  
王斌;  戴懿纯;  许方宇;  金振宇
  |  收藏  |  浏览/下载:42/0  |  提交时间:2023/01/13
基于边缘探测器的FMG稳像探测研究 期刊论文  OAI收割
天文学报, 2020, 卷号: 61, 期号: 4, 页码: 16-23
作者:  
郑兆瑛;  吴桢;  章海鹰;  曾裔中;  倪厚坤
  |  收藏  |  浏览/下载:30/0  |  提交时间:2021/03/30
太赫兹超导热电子混频器和相变边缘探测器特性研究 学位论文  OAI收割
上海: 上海师范大学, 2017
作者:  
郭晓辉
  |  收藏  |  浏览/下载:19/0  |  提交时间:2017/10/11
太赫兹超导相变边缘探测器特性研究 学位论文  OAI收割
博士: 中国科学院大学, 2014
钟家强
收藏  |  浏览/下载:79/0  |  提交时间:2014/12/04
一种光电成像系统调制传递函数的测量方法 期刊论文  OAI收割
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 11, 页码: 107-116
作者:  
徐保树;  史泽林;  冯斌
收藏  |  浏览/下载:17/0  |  提交时间:2012/05/29
短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究 学位论文  OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
作者:  
宁锦华
  |  收藏  |  浏览/下载:30/0  |  提交时间:2012/08/22
由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作  探测率高等优点  Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究  重点研究了感应耦合等离子体刻蚀(icp)台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器  通过最终性能的比较  评价得出较好的台面成型方式  为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下:icp刻蚀中掩膜的材料致密性  侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉  铟基材料的刻蚀需要对样品加热  在此温度下  光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说  采用pecvd生长sinx  选择边缘平整的光刻板  用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf:nh4f:h2o为3:6:10的溶液常温腐蚀6秒  可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物  但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器  平均刻蚀速率过快  同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离  提高刻蚀速率  相比较ar气  N2的物理轰击力小  对材料造成的损伤小  同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx  在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型  能得到刻蚀速率稳定可控  刻蚀后的表面光洁无残留物  图形保真度好。在不同的直流偏压  Icp功率  气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型  并从刻蚀速率  刻蚀垂直度  刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上  找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下  Icp具有图形保真度好  刻蚀速率稳定可控的优点  因而更适用于ingaas探测器的工程制作  特别在小光敏元探测器的制备中  Icp的优势将更明显。  
多普勒激光雷达及其单纵模全固态激光器 期刊论文  OAI收割
红外与激光工程, 2008, 卷号: 37, 期号: 1, 页码: 57, 60
陈卫标; 周军; 刘继桥; 朱小磊
收藏  |  浏览/下载:1313/204  |  提交时间:2009/09/18
基于Fizeau干涉仪的多普勒测风激光雷达技术研究 学位论文  OAI收割
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2007
作者:  
卜令兵
收藏  |  浏览/下载:87/0  |  提交时间:2016/11/28
直接探测多普勒测风激光雷达研究 学位论文  OAI收割
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2006
作者:  
刘继桥
收藏  |  浏览/下载:26/0  |  提交时间:2016/11/28
基于小波变换的海面背景红外小目标检测方法 期刊论文  OAI收割
光电工程, 2004, 卷号: 31, 期号: 4, 页码: 38-41,60
作者:  
于海斌;  温佩芝;  史泽林;  吴晓军
  |  收藏  |  浏览/下载:13/0  |  提交时间:2010/11/29