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OAI收割 [11]
内容类型
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学位论文 [5]
发表日期
2023 [1]
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2017 [1]
2014 [1]
2011 [1]
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学科主题
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共11条,第1-10条
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基于点扩散函数的拼接镜边缘传感器定标实验研究
期刊论文
OAI收割
光子学报/Acta Photonica Sinica, 2023
作者:
王斌
;
戴懿纯
;
许方宇
;
金振宇
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提交时间:2023/01/13
太阳望远镜
拼接镜面
边缘探测
光学定标
主动控制
基于边缘探测器的FMG稳像探测研究
期刊论文
OAI收割
天文学报, 2020, 卷号: 61, 期号: 4, 页码: 16-23
作者:
郑兆瑛
;
吴桢
;
章海鹰
;
曾裔中
;
倪厚坤
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提交时间:2021/03/30
先进天基太阳天文台
全日面矢量磁像仪
边缘探测器
太赫兹超导热电子混频器和相变边缘探测器特性研究
学位论文
OAI收割
上海: 上海师范大学, 2017
作者:
郭晓辉
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提交时间:2017/10/11
太赫兹
超导热电子混频器
超导相变边缘探测器
铁基薄膜
接触电极
噪声温度
噪声等效功率
太赫兹超导相变边缘探测器特性研究
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院大学, 2014
钟家强
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提交时间:2014/12/04
太赫兹
超导相变边缘探测器
直接检波器
响应率
噪声等效功率
一种光电成像系统调制传递函数的测量方法
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 11, 页码: 107-116
作者:
徐保树
;
史泽林
;
冯斌
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2012/05/29
成像系统
调制传递函数
边缘扩展函数
累积直方图
测量方法
采样频率
探测器
光学系统
测量结果
仿真实验
短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究
学位论文
OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
作者:
宁锦华
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提交时间:2012/08/22
由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作
探测率高等优点
Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究
重点研究了感应耦合等离子体刻蚀(icp)台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器
通过最终性能的比较
评价得出较好的台面成型方式
为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下:icp刻蚀中掩膜的材料致密性
侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉
铟基材料的刻蚀需要对样品加热
在此温度下
光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说
采用pecvd生长sinx
选择边缘平整的光刻板
用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf:nh4f:h2o为3:6:10的溶液常温腐蚀6秒
可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物
但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器
平均刻蚀速率过快
同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离
提高刻蚀速率
相比较ar气
N2的物理轰击力小
对材料造成的损伤小
同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx
在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型
能得到刻蚀速率稳定可控
刻蚀后的表面光洁无残留物
图形保真度好。在不同的直流偏压
Icp功率
气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型
并从刻蚀速率
刻蚀垂直度
刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上
找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下
Icp具有图形保真度好
刻蚀速率稳定可控的优点
因而更适用于ingaas探测器的工程制作
特别在小光敏元探测器的制备中
Icp的优势将更明显。
多普勒激光雷达及其单纵模全固态激光器
期刊论文
OAI收割
红外与激光工程, 2008, 卷号: 37, 期号: 1, 页码: 57, 60
陈卫标
;
周军
;
刘继桥
;
朱小磊
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浏览/下载:1313/204
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提交时间:2009/09/18
直接探测多普勒激光雷达
条纹图像
双边缘检测
种子注入
基于Fizeau干涉仪的多普勒测风激光雷达技术研究
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2007
作者:
卜令兵
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浏览/下载:87/0
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提交时间:2016/11/28
多普勒激光雷达
直接探测
条纹技术
Fizeau干涉仪
双边缘检测
DFP干涉仪
直接探测多普勒测风激光雷达研究
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2006
作者:
刘继桥
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浏览/下载:26/0
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提交时间:2016/11/28
多普勒激光雷达
直接探测
相干探测
双边缘检测
条纹图像检测
双法-珀干涉仪
菲索干涉仪
基于小波变换的海面背景红外小目标检测方法
期刊论文
OAI收割
光电工程, 2004, 卷号: 31, 期号: 4, 页码: 38-41,60
作者:
于海斌
;
温佩芝
;
史泽林
;
吴晓军
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2010/11/29
红外目标探测
小波变换
边缘检测
多分辨率分析