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高NA光刻机光瞳整形系统关键技术研究 学位论文  OAI收割
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2014
作者:  
宋强
收藏  |  浏览/下载:355/0  |  提交时间:2016/11/28
光折变晶体中非相干光前向耦合及其对噪音栅擦除的研究 期刊论文  OAI收割
中国激光, 2000, 期号: 06, 页码: 561-566
丁欣; 王鹏; 朱孟; 姚建铨; 王奎雄; 李卓; 禹宣伊
收藏  |  浏览/下载:23/0  |  提交时间:2013/03/11