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长春光学精密机械与物... [1]
上海光学精密机械研究... [1]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
学位论文 [1]
期刊论文 [1]
发表日期
2014 [1]
2000 [1]
学科主题
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浏览/检索结果:
共2条,第1-2条
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高NA光刻机光瞳整形系统关键技术研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2014
作者:
宋强
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提交时间:2016/11/28
光学光刻
光瞳整形
光刻仿真
衍射光学元件
轴锥镜
光学检测
光折变晶体中非相干光前向耦合及其对噪音栅擦除的研究
期刊论文
OAI收割
中国激光, 2000, 期号: 06, 页码: 561-566
丁欣
;
王鹏
;
朱孟
;
姚建铨
;
王奎雄
;
李卓
;
禹宣伊
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提交时间:2013/03/11
非相干光耦合
锥光衍射
暗环
噪音栅擦除