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MEMS电容式高Q值加速度传感器闭环检测电路研究 学位论文  OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所)  , 2010
孙腾
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MEMS电容式微加速度传感器Q值测试与力反馈接口电路研究 学位论文  OAI收割
硕士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2009
张灵霖
收藏  |  浏览/下载:116/0  |  提交时间:2012/03/06