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机构
上海微系统与信息技术... [2]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
学位论文 [2]
发表日期
2010 [1]
2009 [1]
学科主题
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共2条,第1-2条
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MEMS电容式高Q值加速度传感器闭环检测电路研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2010
孙腾
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提交时间:2012/03/06
高Q值
加速度传感器
闭环检测电路
力反馈
ΣΔ技术
MEMS电容式微加速度传感器Q值测试与力反馈接口电路研究
学位论文
OAI收割
硕士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2009
张灵霖
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浏览/下载:116/0
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提交时间:2012/03/06
电容式加速度传感器
阶跃响应测试
等效刚度
闭环力反馈
带宽