机构

• 上海微系统与信息技术... [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 学位论文 [1]

发表日期

• 1998 [1]

学科主题

筛选

浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 等离子体增强化学气相沉积（PECVD）氮化硅薄膜的防潮性能研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院研究生院（上海冶金研究所）  , 1998 林辉 收藏  |  浏览/下载：64/0  |  提交时间：2012/03/06 等离子休增强化学气相沉积  氮化硅薄膜  塑封  防潮性能