机构

• 微电子研究所 [1]
• 声学研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [2]

内容类型

• 学位论文 [1]
• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2006 [1]
• 2005 [1]

学科主题

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 防粘连硅微电容传声器的研究 学位论文  OAI收割 博士, 声学研究所: 中国科学院声学研究所, 2006 潘昕 收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2011/05/07 MEMS  硅微电容传声器  防粘连  微突出   纳米压印光刻模版制作技术 期刊论文  OAI收割 电子工业专用设备, 2005, 卷号: 34, 期号: 2, 页码: 26-32 作者:  陈大鹏;  谢常青;  范东升   |  收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2010/05/26 纳米压印  模版制作  防粘连处理