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金属研究所 [2]
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OAI收割 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2015 [2]
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旋转横向磁场对电弧离子镀弧斑运动的影响
期刊论文
OAI收割
真空科学与技术学报, 2015, 期号: 3
郎文昌
;
赵彦辉
;
肖金泉
;
宫骏
;
孙超
;
于宝海
;
闻立时
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提交时间:2016/04/19
旋转横向磁场
电弧离子镀
有限元分析
阴极弧斑运动
磁场模拟在磁控溅射/阴极弧离子镀中的应用
期刊论文
OAI收割
中国表面工程, 2015, 期号: 2
雷浩
;
肖金泉
;
郎文昌
;
张小波
;
宫骏
;
孙超
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提交时间:2016/04/19
外加电磁线圈
磁控溅射
阴极弧离子镀
旋转磁场
弧源设计