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金属研究所 [2]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2015 [1]
2001 [1]
学科主题
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共2条,第1-2条
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旋转横向磁场对电弧离子镀弧斑运动的影响
期刊论文
OAI收割
真空科学与技术学报, 2015, 期号: 3
郎文昌
;
赵彦辉
;
肖金泉
;
宫骏
;
孙超
;
于宝海
;
闻立时
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提交时间:2016/04/19
旋转横向磁场
电弧离子镀
有限元分析
阴极弧斑运动
偏压对阴极电弧离子镀AlN薄膜的影响
期刊论文
OAI收割
材料研究学报, 2001, 期号: 6, 页码: 675-680
黄美东,董闯,宫骏,卢春燕,孙超,黄荣芳,闻立时
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提交时间:2012/04/12
偏压
阴极电弧离子镀
物理气相沉积
AlN薄膜