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长春光学精密机械与物... [2]
金属研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [3]
内容类型
期刊论文 [3]
发表日期
2014 [1]
2013 [1]
2008 [1]
学科主题
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共3条,第1-3条
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正交电磁场离子源及其在PVD法制备硬质涂层中的应用
期刊论文
OAI收割
真空, 2014, 期号: 4, 页码: 48-52
范迪
;
雷浩
;
宫骏
;
孙超
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提交时间:2015/01/15
考夫曼离子源
霍尔离子源
阳极层线性离子源
PVD
霍尔离子源辅助制备长波红外碳化锗增透膜
期刊论文
OAI收割
发光学报, 2013, 期号: 03, 页码: 319-323
作者:
王彤彤
收藏
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提交时间:2014/03/07
碳化锗
长波红外增透膜
离子辅助
霍尔离子源
霍尔离子源辅助制备碳化硅改性薄膜
期刊论文
OAI收割
红外与激光工程, 2008, 期号: 4
作者:
王彤彤
;
范镝
;
郑宣鸣
;
王笑夷
;
高劲松
收藏
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提交时间:2012/09/25
碳化硅
表面改性
霍尔离子源
离子辅助