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上海微系统与信息技术... [1]
采集方式
OAI收割 [1]
内容类型
期刊论文 [1]
发表日期
1996 [1]
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静电梳微振子结构和特性研究
期刊论文
OAI收割
传感技术学报, 1996, 期号: 04
李平梁
;
李碧洲
;
赖宗声
;
陆德仁
;
王添平
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提交时间:2012/03/29
K1 微振子
静电梳
驱动
特性