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金属研究所 [2]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
会议论文 [1]
学位论文 [1]
发表日期
2014 [1]
2012 [1]
学科主题
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共2条,第1-2条
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磁控溅射制备CrSiN涂层的结构及高温氧化性能
会议论文
OAI收割
第十八届全国高技术陶瓷学术年会, 中国广东清远, 2014
许向敏
;
张豪
;
周子皓
;
罗飞飞
;
多树旺
;
李美栓
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提交时间:2015/05/08
非平衡磁控溅射
CrSiN
抗高温氧化性能
涂层结构
合金基体
表面形貌
氧化过程
能谱仪
扫描电子显微镜
微观结构
中频孪生靶非平衡磁控溅射纳米硅薄膜的研究
学位论文
OAI收割
博士, 北京: 中国科学院金属研究所, 2012
高俊华
收藏
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浏览/下载:88/0
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提交时间:2013/04/12
中频孪生靶
非平衡磁控溅射
纳米硅薄膜
磁镜场
middle frequency dual-target
unbalanced magnetron sputtering
nc-Si film
magnetic mirror field