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机构
兰州化学物理研究所 [3]
采集方式
OAI收割 [3]
内容类型
学位论文 [2]
期刊论文 [1]
发表日期
2022 [1]
2013 [2]
学科主题
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浏览/检索结果:
共3条,第1-3条
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非晶含氢碳薄膜本征结构对退火行为的影响
期刊论文
OAI收割
表面技术, 2022, 卷号: 51, 期号: 7, 页码: 98-106
作者:
贾倩
;
张斌
;
赖振国
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浏览/下载:6/0
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提交时间:2023/12/08
非晶含氢碳薄膜
退火
双极脉冲
直流脉冲
等离子体增强化学气相沉积
纳米复合含氢非晶碳薄膜的制备、结构与性能研究
学位论文
OAI收割
理学博士: 中国科学院大学, 2013
作者:
刘小强
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浏览/下载:66/0
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提交时间:2014/04/30
磁控溅射
含氢非晶碳薄膜
掺杂技术
纳米结构
超低摩擦
Magnetron sputtering
Hydrogneated amorphous carbon film
Doping technique
Nanostructure
Superlow friction
钨铝共掺杂含氢非晶碳薄膜的设计、制备及其性能研究
学位论文
OAI收割
理学硕士: 中国科学院大学, 2013
龚秋雨
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2014/04/30
含氢非晶碳薄膜
中频磁控溅射
共掺杂
结合强度
摩擦与磨损
Hydrogenated amorphous carbon films
Medium frequency magnetron sputtering
Co-doping
Adhesion strength
Friction and wear