机构

• 光电技术研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2013 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 非理想照明光瞳对光刻成像质量的影响 期刊论文  OAI收割 光电工程, 2013, 卷号: 40, 期号: 2, 页码: 87-92 作者:  陈安;  林妩媚;  江海波 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2016/11/01 光刻仿真  非理想照明  光瞳偏心  离轴照明