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用于纳米操作的硅基集成式微型xy定位平台(英文) 期刊论文  OAI收割
半导体学报, 2008, 期号: 10
王家畴; 荣伟彬; 孙立宁; 李欣昕
收藏  |  浏览/下载:40/0  |  提交时间:2012/01/06