机构

• 上海微系统与信息技术... [1]
• 上海技术物理研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [2]

内容类型

• 学位论文 [1]
• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2011 [1]
• 2009 [1]

学科主题

• 红外探测材料与器件 [1]

筛选

浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 多台阶平板静电驱动的高占空比微镜阵列的研制 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 2011, 期号: 08 李四华; 徐静; 龙亮; 钟少龙; 吴亚明 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2012/04/13 微光机电系统  多台阶平板  平行平板  静电驱动  微镜阵列  高占空比   碲镉汞微台面干法隔离的ICP技术研究 学位论文  OAI收割 : 中国科学院研究生院, 2009 作者:  周文洪   |  收藏  |  浏览/下载：29/0  |  提交时间：2012/08/22 碲镉汞  微台面列阵隔离  Icp刻蚀  高占空比  刻蚀损伤