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力学研究所 [1]
电子学研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
学位论文 [1]
期刊论文 [1]
发表日期
2015 [1]
2012 [1]
学科主题
传感器 [1]
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共2条,第1-2条
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Plasma characteristics and dynamics in a high power pulsed magnetron sputtering discharge
期刊论文
OAI收割
中国科学院大学学报, 2015, 卷号: 32, 期号: 2, 页码: 145-154
作者:
Xia Y(夏原)
;
Gao FY(高方圆)
;
Li G(李光)
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提交时间:2015/12/25
HIPIMS
HPPMS
等离子体动力学
放电特性
高离化率
高场不对称波形离子迁移率谱在痕量有机挥发
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2012
李军建
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提交时间:2012/06/09
高场不对称波形离子迁移率谱
VOC检测
紫外离化
电晕放电离化