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微电子机械器件压膜空气阻尼的一般化雷诺方程(英文) 期刊论文  OAI收割
半导体学报, 2002, 期号: 12
鲍敏杭; 孙远程; 杨恒; 王跃林
收藏  |  浏览/下载:30/0  |  提交时间:2012/01/06