机构

• 兰州化学物理研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2023 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 氮含量对(BCSiAlCr)N_(x)薄膜结构和耐腐蚀性能的影响 期刊论文  OAI收割 真空与低温, 2023, 卷号: 29, 期号: 01, 页码: 28-35 作者:  闫巨擘;  赖振国;  张斌   |  收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2023/12/07 磁控溅射  耐腐蚀性能  硬度  （BCSiAlCr）Nx薄膜  力学性能